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材料名称 单晶丨陶瓷丨玻璃丨金属
规格 10x5、10x10、15x15、20x15、20x20、Ф1″、Ф5″mm等可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的衬底;
厚度 0.3、0.35、0.5、1mm等根据客户需求定制;
抛光 单面或双面
包装 100级洁净袋,1000级超净室
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我司同中国科学院研究所有着多项经营合作,可为镀膜客户配提供:

配套单晶丨陶瓷丨玻璃丨金属丨基片丨衬底等。

(一)半导体薄膜基片

硅Si、锗Ge、砷化镓GaAs、磷化铟InP、砷化铟InAs、锑化镓GaSb等;

(二)高温超导薄膜基片

铝酸镧LaAlO3、LSAT、钛酸锶SrTiO3、氧化镁MgO、钇稳定氧化锆YSZ、钽酸钾KTaO3、铝酸锶镧SrLaAlO4、铝酸钇YAlO3、铝酸镁MgAl2O4等;

(三)磁性与铁电薄膜基片

铝酸镧 LaAlO3、LSAT、钛酸锶SrTiO3、掺杂钛酸锶Nb:SrTiO3丨Fe:SrTiO3 丨Nd:SrTiO3、白宝石Al2O3、铝酸镁MgAl2O4、钆镓石榴石GGG、二氧化钛TiO2、铽镓石榴石TGG等;

(四)GaN 外延薄膜基片

白宝石Al2O3、硅Si、砷化镓GaAs、铝酸锂LiAlO2、铝酸镁MgAl2O4、碳化硅SiC、氧化锌ZnO、氮化镓GaN等;

(五)卤化物晶体丨基片

氯化钠NaCl、氯化钾KCI、溴化钾KBr等;

(六)金属基片

铜Cu、铁Fe等;

(七)陶瓷基片

氧化铝Al2O3、氮化硅Si3N4、氮化铝AlN、钇稳定氧化锆YSZ等。

常规规格:10x5、10x10、15x15、20x15、20x20、Ф1″、Ф5″mm等可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的衬底;

常规厚度:0.3、0.35、0.5、1mm等根据客户需求定制;

常规表面粗糙度:≤5Å(有特殊要求可更低);

抛光:单面或双面;

包装:100级洁净袋,1000级超净室。



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