材料名称
分子式 Si
常规纯度 99.999%
尺寸规格 圆靶、方靶、柱靶、台阶靶、定制
密度(g/cm3) 2.33
熔点(℃) 1414
热导率(W/m·K) 150
热膨胀系数 2.6×10^(-6)
莫氏硬度(Mohs) 2.6
溅射电源 直流, 射频
bonding类型 铟,导电胶
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