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高纯硅靶（Si）

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材料名称 硅
化学分子式 Si
纯度 99.999%
尺寸 圆靶、方靶、柱靶、台阶靶、定制
密度(g/cm3) 2.33
熔点(℃) 1414
热导率(W/m·K) 150
热膨胀系数 2.6×10^(-6)
硬度 (Mohs) 2.6
绑定方式 铟，导电胶
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