| 氮化铝钪基本信息 | |
| 分子式 | AlScN |
| 纯度 | 4N |
| CAS号 | 氮化铝 CAS:24304-00-5 氮化钪 CAS:25764-12-9 |
| 摩尔质量 | ~41.95 g/mol |
| 密度 | ~3.3 g/cm³ |
| 熔点 | >2000 ℃ |
| 沸点 | 高温分解,无明确沸点 |
| 溶解性(水) | 不溶于水 |
1、核心光学特性:超宽带隙(最高 6.2 eV),覆盖深紫外 - 可见光 - 近红外全波段高透过性;具备极强的二阶非线性光学效应(χ⁽²⁾可达铌酸锂的 2 倍),同时兼具高压电响应、高热导率、高击穿场强。
2、产品形态:定制化陶瓷靶材 / 合金靶材,适配磁控溅射、脉冲激光沉积(PLD)等光学镀膜工艺,可精准调控 Sc 掺杂比例(10%~40%),匹配不同光学器件需求。
3、工艺优势:可实现大面积、均匀性薄膜沉积,与半导体 CMOS 工艺兼容,是下一代光电集成器件的核心材料。
用于制备高折射率、高稳定性光学薄膜,作为多层介质膜的高折射率层,应用于激光谐振腔反射镜、高反镜、滤光片等,提升光学器件的反射率、抗损伤阈值与环境稳定性。
用于红外光学器件的防护涂层,利用其高化学稳定性,提升红外镜头、红外探测器的抗腐蚀、抗磨损性能。

